第360章 徒手搓晶圆

　　“小刘，小邹，你们确实没有在糊弄我？”林刚把话说完，就感觉自己有些冒失了。
　　因为视频里的两人都是那处航天基地中出来的。
　　就拿刘成栋而言，他本人是基地的二把手，论起职位级别比林卫国这个光电所的所长还要高上那么一头。
　　林卫国也是仗着年龄大，资历老，才会喊对方一声小刘。
　　至于另一位邹颖就更不必说了，她是基地中的技术部门负责人，经常会与光电所这样的兄弟单位进行合作交流，对彼此的情况也非常熟悉。
　　就拿最先研发投产的虚拟投影腕表而言，里面几项核心技术就是采用了光电所的技术储备。
　　从这样两个位高职重的“熟人”口中得知了制造原子级别精度光刻机的事情，林卫国的心中就不免起了几分将信将疑的心思。
　　没办法，谁让这两人提到的原子级别的精度实在是太匪夷所思了一点！
　　说到这，就不得不先简单提一下芯片制造的整个流程：晶圆加工－氧化－光刻－刻蚀－薄膜沉积－互连－测试－封装。
　　而其中最为关键的技术步骤，就是光刻。
　　什么是光刻？
　　简单点理解就是通过特殊波动的光线将设计好的电路图案“印刷”到晶圆上。
　　现目前市面上主流的光刻机，按照制程范围可以分两种：一种是通过准分子激光，将193纳米光源进行折射的DUV光刻机。
　　DUV光刻机基本只能做到25纳米级别，像著名的因特尔公司就采用双工作台的魔改方式将DUV光刻机的精度做到10纳米，但是无法达到10纳米以下。
　　不过DUV光刻已经是过去式，另外一种更加先进的EUV光刻机，采取的是等离子激光发射，它能发射的光源光波波长能达到13.5纳米。
　　在这个曝光精度区间下，一些先进点的晶圆大厂利用多层曝光的手段，亦或是多工作平台的叠加，大幅度提升分辨率，让曝光刻蚀的电路精度级别得到数倍的提升，从而产出7纳米甚至更高级别的5纳米芯片。
　　但是这样的取巧方法带来的结果就是，最终晶圆流片的良品率偏低，进而导致芯片制造成本的成倍上升。
　　这也是为何，高端芯片的价格始终居高不下。
　　想要解决这个问题，就必须不断提升光刻机的曝光精度，改善芯片的制造工艺。
　　那么陈决提出的0.1纳米精度是什么概念？
　　就目前人类掌握的精度级别，别说是国内的这些光电所和那些半路出家的半导体研发企业了，就算交给整个行业龙头的风车国ASML公司都得耗费上几十年、甚至半个世纪去追赶。
　　一旦拿到这样精度级别的光刻母机，别说什么7纳米、5纳米芯片了，就算规格、性能再提升百倍、千倍的芯片都能分分钟造出来。
　　这也是为何林卫国在听到这个消息后，会表现地如此震惊，实在是因为基地这边的这颗“卫星”放地太大了一些。
　　……
　　“林所，这么重大的事情，我们哪敢忽悠您啊！”
　　“就是这里头涉及到的一些机密技术，不太方面在视频里说。”
　　“您老要是不放心，就抓紧带一批制造光刻母机的原材料过来！数量越多越好，过了这村可就没这个店了！”刘成栋在视频电话里颇为焦急地说道。
　　因为按照陈觉之前表现出的态度来看，这货随时都有可能会因为一个突然升起的念头就离开基地。
　　而且陈决上次离开时，走的非常潇洒干脆拦都没法拦。
　　有了上一回的教训过后，在没有将光刻母机拿到手之前，刘成栋悬着的心就不可能放下。
　　好在视频那头的林卫国也不是迂腐之人，他知道航天基地背后涉及的第二家园秘密已经足够惊世骇俗的。
　　在这个基础上，基地这边突然拿出制造原子级别精度的光刻母机技术，貌似也变得合情合理起来。
　　于是乎，在通话中与邹颖和刘成栋再三确认了几遍后，林卫国就立马调动了整个光电所的工作人员，将一大批制造光刻机所需的部件、原材料，以及一堆工艺流程资料送上了上面安排的鲲鹏运输机。
　　他自己本人也带着光电所一个十几人的小型团队，跟着这批物料快速赶往陇省的航天基地。
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　　基地文物藏馆，由于缺少线索，暂时想不通那种时间的违和感到底是如何产生的，陈决索性就放下了继续深入思考的念头。
　　在藏馆内转了一圈，走马观花式地看了一眼那些带着腐朽痕迹的各个年代的历史文物，陈决嘴里嘟囔了一句：“时光逝兮年易尽……就算是这些死物都挡不住时间的侵蚀，更何况是血肉凡胎的古代君王……还好我已经迈出了关键这一步，有的是时间去解决这些谜团……”
　　念叨完这令旁人摸不着头脑的话，陈决随后就在刘老这些考古专家诧异的眼光中，慢悠悠地走出了藏馆，最后判若无人一般一屁股坐到了藏馆门口的台阶上。
　　这时刘成栋坐着摆渡车从远处急匆匆地赶了回来，见陈决像是在乡下老农蹲坐自家门槛台阶上打发时间，并没有一副立刻离开的样子，也是心中暗松了一口气。
　　“老大，再过半小时光电所制造光刻机的物料就送过来了，这一次看来又得麻烦你了。”刘成栋说着也一并挨着陈决席地坐了下来。
　　“造芯片这种事情对普通人而言就是天方夜谭，但是对我来说也只是举手之劳而已，不用太客气。”陈决摆了摆手不以为意地回了一句，顺带把玩了一下智能腕表，将基地资历库里收录的有关芯片制造的相关工艺资料一篇篇快速投影翻阅起来。
　　在见到陈决那匪夷所思的阅览速度后，坐在边上的刘成栋也是惊愕地有些瞠目结舌起来。
　　好家伙！
　　这速度都不能说是一目十行了，直接一目一页了。
　　外头那些大学生要是有这阅读速度和记忆能力，过什么英语4、6级，考研、读博还不跟玩似的。
　　陈决则是无视了对方的诧异，专注地扫了一圈芯片制造工艺流程后，就伸手一戳地面，好似在抓豆腐一般，将一块巴掌大小的水泥板抠到了手掌心中。
　　“先试试晶圆加工好了！”